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產品介紹：
KJ-1200-S6014LK1-H這款設備是專為生長石墨烯研制的石墨烯薄膜生長專用爐，也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實驗，溫區可獨立程序控制，設備操作時可將實驗需要的恒定高溫直接推到樣品處，使樣品能得到一個快速的升溫速度，同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處，使樣品直接暴露在室溫環境下，得到快速的降溫速率。
主要參數：
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產品名稱 |
石墨烯生長爐CVD系統 |
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型號 |
KJ-1200-S6014LK1-H |
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滑軌管式爐 |
爐體結構 |
滑軌式 |
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最高工作溫度 |
1200℃ |
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持續工作溫度 |
≤1100℃ |
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加熱速率 |
最高20℃/min （建議10℃/min） |
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加熱區長度 |
300mm 單溫區(可根據客戶需求定制) |
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加熱元件 |
含鉬電阻絲 |
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熱電偶 |
N 型 |
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控溫精度 |
±1℃ |
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爐管直徑 |
Φ50，Φ60，Φ80都可用(可根據客戶需求定制) |
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爐管材質 |
石英爐管 |
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溫度控制器 |
PID智能程序控溫 |
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真空法蘭 |
真空法蘭采用304不銹鋼制作 左端法蘭上安裝由不銹鋼針閥和一個球閥。右端法蘭設計為KF25接口，配有擋板閥和兩個KF25卡箍 注：法蘭可選結構，標準螺絲法蘭，快接KF法蘭，鉸鏈法蘭
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真空泵系統 |
旋片真空泵帶數字真空計 （包含KF25接口和可移動箱體）
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極限真空度 10-3 Torr. 爐管內真空度 10-2 Torr. 抽速: 4CFM (2L/S, 120L/min) 備注：用戶可根據真空度要求不同可選用旋片真泵、擴散泵組，分子泵組 |
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質量流量計
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3路高精度質量流量計: 量程：MF1-MF3量程范圍50-1000sccm可調 底部安裝有一個混氣罐，左側安裝有3個不銹鋼針閥，可手動控制3種氣體的流量。
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注意事項 |
. 爐管內氣壓不可高于0.02MPa · 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加準確安全 · 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態 · 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 · 石英管的長時間使用溫度＜1100℃ 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
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售后服務 |
質保一年，終身保修（耗材類：高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質保范圍） |
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